特セII 接着・接合を奏でる：表面・界面をアンサンブル

10:30 〜 10:50

[A-204] 減圧プラズマによるフッ素樹脂への官能基付与と直接接着信頼性

*小林 靖之¹、池田 慎吾¹ (1. 大阪産業技術研究所)

キーワード：

フッ素樹脂、直接接着、プラズマ表面改質

難接着性素材であるフッ素樹脂を減圧プラズマ法による表面改質により窒素系官能基を形成し，同種および金属との異種材料接着をおこなった。また長期信頼性についても検討した。