[C-3_C-4] 光エレクトロニクス／レーザ・量子エレクトロニクス

11:45 〜 12:00

[C-3_C-4-27] 幅変動耐性を有するマッハツェンダー干渉型SiN波長フィルタの試作評価

〇芹川 美莉¹、佐藤 孝憲¹、齊藤 晋聖¹ (1. 北大)

キーワード：

マッハツェンダー型波長フィルタ、波長分割多重、シリコンナイトライド導波路