[7a-S103-1~7]Atomic Layer Process (ALP) analysis and application technologies (2)
Sun. Sep 7, 2025 10:00 AM - 12:05 PM JST
Sun. Sep 7, 2025 1:00 AM - 3:05 AM UTC
Sun. Sep 7, 2025 1:00 AM - 3:05 AM UTC
S103 (Lecture Hall South)
Takeshi Momose(Kumamoto Univ.), Yukihiro Shimogaki(Univ. of Tokyo)
最先端半導体デバイス製造において重要性が高まる原子層成長(ALD)・エッチング(ALE)を対象に、プロセスサイエンスを中心とした選択性制御、その場観察、原子レベルシミュレーションなどに関する最新研究および将来技術を議論します。午前の部では、2件の招待講演(韓国ALDワークショップの紹介、機械学習を用いた製膜プロセス最適化)を予定しています。