[14a-K306-1~10] 15.7 Crystal characterization, impurities and crystal defects

10:30 AM - 10:45 AM JST(1:30 AM - 1:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[14a-K306-6] Molecular Dynamics Simulation of SiGe by Using Machine Learning Potential

〇Kei Ikeda¹ (1.Mitsubishi Chemical Corporation)

Keywords:

SiGe,Molecular Dynamics Simulation,Machine Learning Potential

近年最も注目を集める計算手法の一つが機械学習ポテンシャル(MLP)を用いた分子動力学(MD)シミュレーションである。第一原理計算の結果を教師データとして作成されたMLP-MDを用いることで、これまでよりも高精度に物性の予測が可能となってきた。ここでは、半導体製造において重要なSiGeに関するシミュレーションを報告する。