講演情報
[14a-K306-6]機械学習ポテンシャルを用いたSiGeの分子動力学シミュレーション
〇池田 京1 (1.三菱ケミカル株式会社)
キーワード：
SiGe、分子動力学シミュレーション、機械学習ポテンシャル
近年最も注目を集める計算手法の一つが機械学習ポテンシャル(MLP)を用いた分子動力学(MD)シミュレーションである。第一原理計算の結果を教師データとして作成されたMLP-MDを用いることで、これまでよりも高精度に物性の予測が可能となってきた。ここでは、半導体製造において重要なSiGeに関するシミュレーションを報告する。