[14p-K403-1~13] 6.2 Carbon-based thin films

2:45 PM - 3:00 PM JST(5:45 AM - 6:00 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[14p-K403-7] Growth of ultranano-crystalline diamond by 13.56 MHz inductively coupled plasma CVD method

〇Ryota Ando¹, Satoru Nagamachi¹, Natsuo Tatsumi¹ (1.SEI, Ltd.)

Keywords:

diamond,UNCD,carbon

従来(マイクロ波など)とは異なる周波数13.56MHzで且つ大面積合成が可能となるLCアンテナ技術を導入した誘導結合プラズマCVDにて、超微粒ダイヤモンド膜が合成可能であることを見出したので当日詳細について報告する。