[14p-K403-1~13] 6.2 カーボン系薄膜

14:45 〜 15:00奨励賞エントリー

[14p-K403-7] 13.56MHz誘導結合プラズマCVDによる超微粒ダイヤモンドの成長

〇安藤 瞭汰¹、長町 学¹、辰巳 夏生¹ (1.住友電工)

キーワード：

ダイヤモンド、超微粒ダイヤモンド、炭素

従来(マイクロ波など)とは異なる周波数13.56MHzで且つ大面積合成が可能となるLCアンテナ技術を導入した誘導結合プラズマCVDにて、超微粒ダイヤモンド膜が合成可能であることを見出したので当日詳細について報告する。