[14p-P02-1~20] 6.4 Thin films and New materials

[14p-P02-10] Evaluation of Crystallinity of MnTe Films as a Function of Deposition Temperature

〇Isamu Arai^1,2, Shota Awazuhara^1,2, Masashi Kuwahara², Aiko Narazaki², Kunio Okimura³, Satoshi Katano¹ (1.Toyo Univ., 2.AIST, 3.Tokai Univ.)

Keywords:

MnTe,chalcogenide,phase change phenomenon

MnTeは相転移に伴い大きな抵抗値変化を示すため、相変化メモリなどへの応用が期待されている。
MnTeは、室温で成膜するとb相のMnTe（b-MnTe）が形成されるが、加熱によりb-MnTeからa相のMnTe (a-MnTe)に相変化する。この相変化に伴い体積が20%ほど収縮することが知られている。
我々は、基板を加熱した状態でMnTeを成膜すると、均一なa-MnTe膜を得ることができると考えた。
本発表では、様々な基板温度でMnTeを成膜し、結晶性を評価した結果について報告する。