[14p-P02-1~20] 6.4 薄膜新材料

[14p-P02-10] 成膜温度に依存したMnTe薄膜の結晶性評価

〇新井 イサム^1,2、粟津原 奨太^1,2、桑原 正史²、奈良崎 愛子²、沖村 邦雄³、片野 諭¹ (1.東洋大理工、2.産総研、3.東海大学)

キーワード：

MnTe、カルコゲナイド、相変移現象

MnTeは相転移に伴い大きな抵抗値変化を示すため、相変化メモリなどへの応用が期待されている。
MnTeは、室温で成膜するとb相のMnTe（b-MnTe）が形成されるが、加熱によりb-MnTeからa相のMnTe (a-MnTe)に相変化する。この相変化に伴い体積が20%ほど収縮することが知られている。
我々は、基板を加熱した状態でMnTeを成膜すると、均一なa-MnTe膜を得ることができると考えた。
本発表では、様々な基板温度でMnTeを成膜し、結晶性を評価した結果について報告する。