[14p-P02-1~20] 6.4 Thin films and New materials

[14p-P02-14] Investigation of composition of SrLiH₃ epitaxial thin films

〇(B)Yuma Ishibashi¹, Erika Fukushi¹, Yuki Shimoman¹, Takuya Majima², Takayuki Harada³, Hiroyuki Oguchi¹ (1.Shibaura Tech., 2.Kyoto Univ., 3.NIMS)

Keywords:

metal hydride thin film,perovskite structure,composition

ペロブスカイト水素化物SrLiH₃は、他のペロブスカイト構造を持つ物質と同様に元素置換によって物性を創出・制御できる魅力的な材料である。我々はこの材料のデバイス応用を見据えて、エピタキシャル薄膜合成に挑戦し成功している。しかし、我々の合成した薄膜は、組成が量論比からずれている疑いがあった。そこで、本研究ではSrLiH₃エピタキシャル薄膜の組成を詳細に調査した。