[14p-P02-1~20] 6.4 薄膜新材料

[14p-P02-14] SrLiH₃エピタキシャル薄膜の組成調査

〇(B)石橋 悠磨¹、福士 英里香¹、下萬 祐暉¹、間嶋 拓也²、原田 尚之³、大口 裕之¹ (1.芝浦工大工、2.京大院工、3.物材機構)

キーワード：

金属水素化物薄膜、ペロブスカイト構造、組成

ペロブスカイト水素化物SrLiH₃は、他のペロブスカイト構造を持つ物質と同様に元素置換によって物性を創出・制御できる魅力的な材料である。我々はこの材料のデバイス応用を見据えて、エピタキシャル薄膜合成に挑戦し成功している。しかし、我々の合成した薄膜は、組成が量論比からずれている疑いがあった。そこで、本研究ではSrLiH₃エピタキシャル薄膜の組成を詳細に調査した。