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[15a-K302-11]Fabrication of ZnSnP2 crystals by selective area epitaxy

〇Isshin Sumiyoshi1, Yoshitaro Nose1, Sebastian Lehmann2, Aidas Urbonavicius2, Kimberly Dick2, Simon Steinvall2 (1.Kyoto Univ., 2.Lund Univ.)

Keywords:

selective area epitaxy,MOCVD,chalcogenide

新規光吸収層材料であるZnSnP2薄膜の結晶基板には,主にGaAsが用いられてきた.これはZnSnP2とGaAsの格子定数がそれぞれ5.651, 5.654 Åと非常に近いためである.しかし,アニオンの違いに起因して,界面にGaP層(a=5.451Å)が生成する可能性があり,格子整合基板として適さない.そこで我々は,選択領域エピタキシー法を用いてZnSnP2結晶の作製を試みた.その結果,InP(100)基板上にエピタキシャル成長した一辺約30nmのピラミッド状のZnSnP2結晶が得られた.

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