講演情報
[15a-K302-11]選択領域エピタキシー法を用いたZnSnP2結晶の作製
〇住吉 壱心1、野瀬 嘉太郎1、Lehmann Sebastian2、Urbonavicius Aidas2、Dick Kimberly2、Steinvall Simon2 (1.京都大、2.Lund大)
キーワード:
選択領域エピタキシー、MOCVD、カルコゲナイド
新規光吸収層材料であるZnSnP2薄膜の結晶基板には,主にGaAsが用いられてきた.これはZnSnP2とGaAsの格子定数がそれぞれ5.651, 5.654 Åと非常に近いためである.しかし,アニオンの違いに起因して,界面にGaP層(a=5.451Å)が生成する可能性があり,格子整合基板として適さない.そこで我々は,選択領域エピタキシー法を用いてZnSnP2結晶の作製を試みた.その結果,InP(100)基板上にエピタキシャル成長した一辺約30nmのピラミッド状のZnSnP2結晶が得られた.
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