Presentation Information

[15a-K302-7]Deposition and Composition Control of Zn(O, S) Thin Films via Mist CVD

〇Akihiro Funaki1, Yohei Araki1, Takahito Nishimura1, Akira Yamada1 (1.Science Tokyo)

Keywords:

Thin Film Solar Cell,Buffer Layer,Mist CVD

CIGSe太陽電池のバッファ層として広く利用されるCdSは,短波長域での光損失や環境負荷が課題である.Zn(O, S)はCdSに代わるバッファ層材料として期待されており,S/(S+O)比率の調整により光学的特性の制御が可能である.今回,低コスト化が期待できるミストCVD法を用いてZn(O, S)薄膜を作製し,ZnOからZnSまで連続的な組成制御が可能であることを確認したため報告する.

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