[15a-K507-1~8] 7.2 Applications and technologies of electron beams

9:00 AM - 9:15 AM JST(12:00 AM - 12:15 AM UTC)

[15a-K507-1] [The 57th Young Scientist Presentation Award Speech] Performance of single-electron detection with an SOI pixel detector and its application to electron beam interference experiments

〇Yuichi Ishida¹, Takafumi Ishida^1,2, Makoto Kuwahara^1,2, Yasuo Arai³, Koh Saitoh^1,2 (1.Grad. Sch. of Eng., Nagoya Univ., 2.IMaSS, 3.KEK)

Keywords:

transmission electron microscopy,SOI pixel detector

SOIピクセル検出器は高エネルギー加速器研究機構(KEK)で開発された放射線検出用のイメージセンサである。我々はSOIピクセル検出器を透過電子顕微鏡のカメラとして用い、その性能評価を進めてきた。本発表では汎用積分型SOIピクセル検出器INTPIX4の単電子検出性能を評価し、単電子検出のデモンストレーションとして低電子線量で電子線干渉縞を撮影した結果について報告する。加えてINTPIX4の電子線イメージング性能についても発表する。