[15a-K507-1~8] 7.2 電子ビーム応用

9:00 〜 9:15

[15a-K507-1] [第57回講演奨励賞受賞記念講演] SOIピクセル検出器の単電子検出性能の評価と電子線干渉実験への応用

〇石田 裕一¹、石田 高史^1,2、桑原 真人^1,2、新井 康夫³、齋藤 晃^1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.KEK)

キーワード：

透過電子顕微鏡、SOIピクセル検出器

SOIピクセル検出器は高エネルギー加速器研究機構(KEK)で開発された放射線検出用のイメージセンサである。我々はSOIピクセル検出器を透過電子顕微鏡のカメラとして用い、その性能評価を進めてきた。本発表では汎用積分型SOIピクセル検出器INTPIX4の単電子検出性能を評価し、単電子検出のデモンストレーションとして低電子線量で電子線干渉縞を撮影した結果について報告する。加えてINTPIX4の電子線イメージング性能についても発表する。