[15a-K507-1~8] 7.2 Applications and technologies of electron beams

10:15 AM - 10:30 AM JST(1:15 AM - 1:30 AM UTC)

[15a-K507-5] Development of high-speed recordable direct electron detectors using SOI technology Ⅱ

〇Yuichi Ishida¹, Takafumi Ishida^1,2, Makoto Kuwahara^1,2, Yasuo Arai³, Koh Saitoh^1,2 (1.Grad. Sch. of Eng., Nagoya Univ., 2.IMaSS, 3.KEK)

Keywords:

transmission electron microscopy,SOI pixel detector

透過電子顕微鏡で用いる電子検出器の撮影周期は読み出し速度によって制限される。我々はサブマイクロ秒の高速現象観察を実現するため、アナログメモリを搭載したダイレクト電子検出器を開発した。本発表では像観察の評価を行う目的で作製された試作２号機について報告する。本検出器は高い感度と放射線耐性を持つSOIピクセル検出器を元に作成され、各ピクセルにアナログメモリを４つ搭載しているので４枚の画像を高速に記録できる。