講演情報
[15a-K507-5]SOI技術を用いた高速撮影可能なダイレクト電子検出器の開発Ⅱ
〇石田 裕一1、石田 高史1,2、桑原 真人1,2、新井 康夫3、齋藤 晃1,2 (1.名大院工、2.名大未来研、3.KEK)
キーワード：
透過電子顕微鏡、SOIピクセル検出器
透過電子顕微鏡で用いる電子検出器の撮影周期は読み出し速度によって制限される。我々はサブマイクロ秒の高速現象観察を実現するため、アナログメモリを搭載したダイレクト電子検出器を開発した。本発表では像観察の評価を行う目的で作製された試作２号機について報告する。本検出器は高い感度と放射線耐性を持つSOIピクセル検出器を元に作成され、各ピクセルにアナログメモリを４つ搭載しているので４枚の画像を高速に記録できる。