[15p-K206-1~12] Shaping the Future of Green Fabs: Toward Sustainable Manufacturing

5:35 PM - 5:50 PM JST(8:35 AM - 8:50 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation AwardHighlighted Presentation

[15p-K206-10] AI System for Recipe Creation & Verification of Single Wafer Wet Etching in Scarce Data Conditions

〇(M1)Koki Shibata¹, Hiroshi Horiguchi², Chihiro Matsui¹, Ken Takeuchi¹ (1.Univ. Tokyo, 2.SCREEN SPE)

Keywords:

wet etching,machine learning

本研究においては枚葉処理のウェットエッチングプロセスにおける生産ラインのスループット向上や歩留まり向上を目的として、エッチングレシピの作成と検証のそれぞれを担う２つのAIモデルを提案する。特徴量エンジニアリングやアンサンブル学習など複数の手法を組み合わせることで少サンプル下においても大幅な精度改善を果たした。