講演情報
[15p-K206-10]ウェットエッチングプロセスにおける少サンプル下でのレシピ作成および検証を行うAIシステム
〇(M1)柴田 行輝1、堀口 博司2、松井 千尋1、竹内 健1 (1.東大工、2.SCREEN SPE)
キーワード：
ウェットエッチング、機械学習
本研究においては枚葉処理のウェットエッチングプロセスにおける生産ラインのスループット向上や歩留まり向上を目的として、エッチングレシピの作成と検証のそれぞれを担う２つのAIモデルを提案する。特徴量エンジニアリングやアンサンブル学習など複数の手法を組み合わせることで少サンプル下においても大幅な精度改善を果たした。