[15p-K206-1~12] Shaping the Future of Green Fabs: Toward Sustainable Manufacturing

2:20 PM - 3:00 PM JST(5:20 AM - 6:00 AM UTC)

[15p-K206-3] non-PFAS Biomass EUV resist for Sustainable World

〇Kazuyo Morita¹, Yuki Yoshikura¹, Harumi Sunaga¹ (1.Oji Holdings Corp.)

Keywords:

EUVresist,Biomass,non-PFAS

Non-PFASバイオマスEUVレジストは、サステナブルな世界に向けた環境配慮型のレジストである。電子線リソグラフィでhp8.4nmのL/Sパターンが、また0.50NA EUVリソグラフィでも良好なパターンが形成されていることから、将来のHigh-NA EUVリソグラフィでもポテンシャルが高い材料のひとつであると考える。