講演情報
[15p-K206-3]サステナブルな世界に向けて non-PFASバイオマスEUVレジスト
〇森田 和代1、芳倉 佑樹1、須永 春海1 (1.王子ホールディングス)
キーワード：
EUVレジスト、バイオマス、non-PFAS
Non-PFASバイオマスEUVレジストは、サステナブルな世界に向けた環境配慮型のレジストである。電子線リソグラフィでhp8.4nmのL/Sパターンが、また0.50NA EUVリソグラフィでも良好なパターンが形成されていることから、将来のHigh-NA EUVリソグラフィでもポテンシャルが高い材料のひとつであると考える。