[15p-K206-1~12] Shaping the Future of Green Fabs: Toward Sustainable Manufacturing

3:00 PM - 3:15 PM JST(6:00 AM - 6:15 AM UTC)

[15p-K206-4] Reduction of Organic Wastewater using a Membrane Separation Technology

〇Masaya Yamamoto¹, Yusuke Ueda¹, Shoyo Minami¹, Tomohiro Uemura¹, Yukifumi Yoshida², Michinori Iwao² (1.SCREEN Holdings Co.,Ltd., 2.SCREEN Semiconductor Solutions Co., Ltd.)

Keywords:

Membrane Separation Technology,IPA,Reduction of Organic Wastewater

半導体製造における洗浄プロセスの乾燥時には、イソプロピルアルコール（IPA）と大量の超純水（UPW）を使用し、それらが混ざった有機排水が排出される。半導体デバイスの構造複雑化及び生産数量増加に伴い、有機排水量はさらに増加していく。有機排水処理時にはCO2が発生し環境負荷の要因となる。弊社は、洗浄装置出口において、有機排水からIPAとUPWを分離し、有機排水を削減する技術の開発を行った。