講演情報
[15p-K206-4]膜分離技術による有機排水の削減
〇山本 勝哉1、上田 悠介1、南 翔耀1、植村 知浩1、吉田 幸史2、岩尾 通矩2 (1.株式会社SCREENホールディングス、2.株式会社SCREENセミコンダクターソリューションズ)
キーワード：
膜分離、イソプロパノール、有機排水削減
半導体製造における洗浄プロセスの乾燥時には、イソプロピルアルコール（IPA）と大量の超純水（UPW）を使用し、それらが混ざった有機排水が排出される。半導体デバイスの構造複雑化及び生産数量増加に伴い、有機排水量はさらに増加していく。有機排水処理時にはCO2が発生し環境負荷の要因となる。弊社は、洗浄装置出口において、有機排水からIPAとUPWを分離し、有機排水を削減する技術の開発を行った。