[15p-K206-1~12] Shaping the Future of Green Fabs: Toward Sustainable Manufacturing

3:15 PM - 3:30 PM JST(6:15 AM - 6:30 AM UTC)

[15p-K206-5] Data-Driven Prediction Model for Si₃N₄ Wet Etching Using DHF

〇(M1)Koki Shibata¹, Takashi Ota², Koji Ando², Naoko Misawa¹, Chihiro Matsui¹, Ken Takeuchi¹ (1.Univ. Tokyo, 2.SCREEN SPE)

Keywords:

wet etching,process optimization

DHFを用いたSi₃N₄のウェットエッチングプロセスにおいて、プロセスレシピで使用される複数のパラメータを跨いだ包括的なデータ解析を通し、エッチングレートのスキャン動作依存性に着目したデータドリブンなモデルを提案する。エッチングレートの予測だけでなく定式化を経ることで所望のエッチングレートを達成するためのレシピ解明という逆問題にも直接応用可能となった。