講演情報
[15p-K206-5]DHF を用いた窒化膜のウェットエッチングプロセスにおける データドリブンな予測モデル
〇(M1)柴田 行輝1、太田 喬2、安藤 幸嗣2、三澤 奈央子1、松井 千尋1、竹内 健1 (1.東大工、2.SCREEN SPE)
キーワード：
ウェットエッチング、プロセス最適化
DHFを用いたSi3N4のウェットエッチングプロセスにおいて、プロセスレシピで使用される複数のパラメータを跨いだ包括的なデータ解析を通し、エッチングレートのスキャン動作依存性に着目したデータドリブンなモデルを提案する。エッチングレートの予測だけでなく定式化を経ることで所望のエッチングレートを達成するためのレシピ解明という逆問題にも直接応用可能となった。