[15p-K206-1~12] Shaping the Future of Green Fabs: Toward Sustainable Manufacturing

5:05 PM - 5:20 PM JST(8:05 AM - 8:20 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[15p-K206-8] Case Study on Modeling of Multiple Processes Using Intermediate Variables for Digital Twin Modeling of a Semiconductor Manufacturing

〇Ryosuke Okachi¹, Masanori Usui¹, Tomohiko Mori¹, Junya Muramatsu¹, Makoto Kuwahara¹, Daigo Kikuta¹ (1.TOYOTA CENTRAL R&D LABS., INC.)

Keywords:

semiconductor manufacturing,digital twin,object-oriented programming

半導体製造工程のデジタルツインモデルにおける、モデルの部分的な再利用性向上のための知見を検討した。ケーススタディとして、酸化膜形成後のアニール工程とエッチング工程の2つの連続した工程に着目した。本研究では、適切な物理に従って特定した中間変数を用いてモデル設計を行うことで、モデルの再利用性を向上させながら複数工程間の影響を表現できる可能性を見出し、オブジェクト指向プログラミングの観点から分析した。