[15p-K206-1~12] Shaping the Future of Green Fabs: Toward Sustainable Manufacturing

5:20 PM - 5:35 PM JST(8:20 AM - 8:35 AM UTC)

[15p-K206-9] Development of process flow creation tool

〇Yasunori Hayashi¹, Hideki Takahashi¹, Masashi Satou¹, Toshiyuki Tsuchiya¹ (1.Kyoto Uniiv.)

Keywords:

green transition of fabrication,device of semiconductor manufacturing processes

京大ナノハブでは、半導体微細加工プロセス技術を提供しており、施設利用の際は設備利用管理システムにて装置の予約と管理を行っている。今回本システムに「プロセスフロー作成ツール」を導入することにより利用者は材料や手順、装置条件を事前登録でき、支援員が利用プロセス全体を把握し、適切な支援が可能になる。また、生成されたデータはRDEに構造化して登録され効率的な活用と研究開発の加速が期待される。