講演情報
[15p-K206-9]プロセスフロー作成ツールの開発
〇林 慶知1、高橋 英樹1、佐藤 政司1、土屋 智由1 (1.京大)
キーワード：
半導体グリーンファブ、半導体デバイス製造プロセス
京大ナノハブでは、半導体微細加工プロセス技術を提供しており、施設利用の際は設備利用管理システムにて装置の予約と管理を行っている。今回本システムに「プロセスフロー作成ツール」を導入することにより利用者は材料や手順、装置条件を事前登録でき、支援員が利用プロセス全体を把握し、適切な支援が可能になる。また、生成されたデータはRDEに構造化して登録され効率的な活用と研究開発の加速が期待される。