[15p-K506-1~19] 3.11 Nanoscale optical science and near-field optics

5:15 PM - 5:30 PM JST(8:15 AM - 8:30 AM UTC)

[15p-K506-15] Fabrication of nanobowl structure arrays by direct laser writing

〇(B)Kota Yamakawa¹, Tomoya Oshikiri¹, Iori Morita², Daisuke Tojima¹, Tomoko Hasegawa¹, Yuina Kokai³, Hiromasa Niinomi¹, Masaru Nakagawa^1,3 (1.IMRAM, Tohoku Univ., 2.RIEC, Tohoku Univ., 3.Photonic Meta Sensing Co-creation Research Center, Tohoku Univ.)

Keywords:

laser processing,nanobowl structure,nanoresonator

サブミクロンサイズの微細な凹型椀状構造体は、可視光に応答して高い集光機能を有することが知られている。本研究では、レーザー描画の描画条件と形成されるナノ構造体形状との関係について検討し、椀状ナノ構造配列体の作製を目指した。