Presentation Information
[15p-P12-15]Fabrication and Characterization of Silver(Ag) Thin Films by Mist CVD
〇Kei Mizumotm1, Tatsuki Okada1, Ryosuke Ohashi11, Htet Su1, Abhay Mondal1, Toshiyuki Kawaharamura1,2 (1.Kochi Univ tech, 2.Res. Inst)
Keywords:
Silver(Ag) Thin Films
ミスト CVD法による金属薄膜の成膜メカニズムについてはいまだ不明な点が多く、過去の銀薄膜を作製 に関する研究では成膜に成功したものの、膜質に大きなばらつきが見られた。そこで銀薄膜を成膜するにあたって操作変数 を洗い出し、溶液の攪拌時間や攪拌中の遮光に伴う影響に関して調査することとした
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