講演情報
[15p-P12-15]ミストCVD法による銀薄膜の成膜と膜特性
〇水本 圭1、岡田 達樹1、大橋 亮介1、Htet Su1、Abhay Mondal1、川原村 敏幸1,2 (1.高知工科大学、2.総研)
キーワード：
銀薄膜
ミスト CVD法による金属薄膜の成膜メカニズムについてはいまだ不明な点が多く、過去の銀薄膜を作製 に関する研究では成膜に成功したものの、膜質に大きなばらつきが見られた。そこで銀薄膜を成膜するにあたって操作変数 を洗い出し、溶液の攪拌時間や攪拌中の遮光に伴う影響に関して調査することとした