[15p-P12-1~40] 21 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices" (Poster)

[15p-P12-25] Growth and characterization of the ZnO films on PET substrates
for transparent flexible TFT applications

〇CHIHIRO WASHIZU¹, Kyoma Kitahori¹, Tsutomu Muranaka¹, Yoichi Nabetani¹, Takashi Matsumoto¹ (1.Yamanashi Univ.)

Keywords:

Zinc Oxide,Thin-Film Transistor,flexible

本研究では、透明かつフレキシブルな薄膜トランジスタ(TFT)の製作を目標とし、低温・低損傷プロセスであるプラズマ支援分子線堆積(PAMBD)法を用いてフレキシブルなPET基板上に成膜させたZnOの評価を行ってきた。今回の発表では、PET基板上に成膜させたZnOの電気的特性評価、透過率評価、キャリア移動度評価、及びXRD評価について報告する。