Presentation Information

[15p-P12-29]Influence of growth temperature on composition in ZnMgO thin films by mist CVD

〇Ryosuke Ohashi¹, Tatsuki Okada¹, Htet Su Wai¹, Toshiyuki Kawaaramura^1,2 (1.Kochi univ. tech., 2.Res. Inst.)

ZnMgO,Mis tCVD

太陽電池やディスプレイへ利用されている透明電極などへの応用が期待されているZnMgO薄膜をMist CVD法により作製し, 成膜温度の変化が及ぼす膜内組成や結晶性等への影響を調査した. 実験発表ではXRD, 透過率測定, EDSなどの測定結果を元に本研究の調査結果及び考察について述べる.

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