[16a-K103-1~10] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[16a-K103-3] Prototype and feasibility study of piezoelectric micromachined ultrasonic transducer for measuring axial force of bolt

〇Sho Ishimatsu¹, Ayaka Otaki¹, Tatsuya Shimoyama¹, Yujiro Iwata¹, Shinya Yoshida¹ (1.Shibaura Inst. of Tech.)

Keywords:

piezoelectric micromachined ultrasonic transducer

インフラのボルトの緩みは橋梁の崩落などの重大事故につながるため，より簡便で高信頼性なボルト軸力管理法が求められている．現在，圧電微小超音波トランスデューサ（pMUT）で超音波飛行時間（ToF）測定を行う方法が提案されているが，先行研究で試作したpMUTは受信感度が低いことが課題であった．本研究では，受信感度を向上させたデバイスを試作し，ボルトを用いたToF測定実験を通じてその実現可能性を検討した．