[16a-K403-1~6] 6.2 Carbon-based thin films

10:00 AM - 10:15 AM JST(1:00 AM - 1:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[16a-K403-3] Optical emission analysis of plasma during laser joining of hydrogenated amorphous carbon films

〇Karyu Hase¹, Chihiro Nara¹, Yuko Aono¹, Yuki Hirata¹, Naoto Ohtake¹, Hiroki Akasaka¹ (1.Science Tokyo)

Keywords:

Amorphous Carbon Films

水素化アモルファス炭素(a-C:H)膜のレーザ接合メカニズムを明らかとするため，接合過程で生じるプルームプラズマの発光を分析した．結果，C₂に起因する435, 465, 516, 552 nm付近のピーク，C⁺に起因する392.4, 407.0, 426.7, 513.7, 588.8, 615.1, 645.9, 657.6, 723.6 nmのピークが確認できた．同時に，NとOの発光に帰属できる744, 777 nm付近のピークも確認できた．これらの事から，a-C:H膜のレーザ接合では膜および近傍が一時プラズマ化され，これらが再結合する事で接合される事が示唆された．