講演情報
[16a-K403-3]水素化アモルファス炭素膜のレーザ接合時に生じるプラズマの発光分析
〇長谷 嘉琉1、奈良 千尋1、青野 祐子1、平田 祐樹1、大竹 尚登1、赤坂 大樹1 (1.科学大)
キーワード：
アモルファス炭素膜
水素化アモルファス炭素(a-C:H)膜のレーザ接合メカニズムを明らかとするため，接合過程で生じるプルームプラズマの発光を分析した．結果，C2に起因する435, 465, 516, 552 nm付近のピーク，C+に起因する392.4, 407.0, 426.7, 513.7, 588.8, 615.1, 645.9, 657.6, 723.6 nmのピークが確認できた．同時に，NとOの発光に帰属できる744, 777 nm付近のピークも確認できた．これらの事から，a-C:H膜のレーザ接合では膜および近傍が一時プラズマ化され，これらが再結合する事で接合される事が示唆された．