[16a-Y1311-1~9] 21.1 Joint Session K "Wide bandgap oxide semiconductor materials and devices"

10:45 AM - 11:00 AM JST(1:45 AM - 2:00 AM UTC)

[16a-Y1311-7] Mist CVD growth of rocksalt-structured MgZnO alloys in the metastable phase composition range

〇Kyosuke Tanaka¹, Kotaro Ogawa¹, Tomohiro Yamaguchi¹, Tohru Honda¹, Takeyoshi Onuma¹ (1.Kogakuin Univ.)

Keywords:

ultrawide-bandgap,rocksalt structured MgZnO,mist chemical vapor deposition

ミストCVD法を用いて準安定組成域を包含するRS-Mg_xZn_1-xO(0.09≦x≦0.58)の成長を行った。XRD θ-2θパターンからウルツ鉱構造由来の回折ピークは観測されず、単相の岩塩構造であることが示唆された。成長温度依存性からは、MgOとRS-ZnOの熱膨張係数差に伴う熱応力が格子緩和率に大きく影響することが分かった。