[16a-Y1311-1~9] 21.1 合同セッションＫ 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

10:45 〜 11:00

[16a-Y1311-7] 準安定組成域における岩塩構造MgZnO混晶のミストCVD成長

〇田中 恭輔¹、小川 広太郎¹、山口 智広¹、本田 徹¹、尾沼 猛儀¹ (1.工学院大)

キーワード：

超ワイドバンドギャップ、岩塩構造酸化マグネシウム亜鉛、ミストCVD

ミストCVD法を用いて準安定組成域を包含するRS-Mg_xZn_1-xO(0.09≦x≦0.58)の成長を行った。XRD θ-2θパターンからウルツ鉱構造由来の回折ピークは観測されず、単相の岩塩構造であることが示唆された。成長温度依存性からは、MgOとRS-ZnOの熱膨張係数差に伴う熱応力が格子緩和率に大きく影響することが分かった。