[16p-P13-1~5] 13.3 Insulator technology

[16p-P13-5] Fabrication of MIM diode using spin-coating method for optical rectennas

〇(M2)Sho Ishi¹, Keisuke Yanagisawa¹, Takashi Akabane¹, You Yin¹ (1.Gunmma Univ.)

Keywords:

optical rectennas,Spin coating,MIM diode

近年、高変換効率理論値を有する光レクテナが注目されている。また、高周波領域での整流を可能にするためのダイオードとしてトンネル効果による金属-絶縁層-金属(MIM)ダイオードが最適である。しかし従来の絶縁層作製技術では、作製に長い時間と高価な装置が必要となることが多い。スピンコート法は均一な膜を容易に形成することができると実証されている。本研究では、スピンコート法により HydrogenSilsesquixane (HSQ)ナノ絶縁層を形成し評価を行った。