講演情報
[16p-P13-5]光レクテナのためのスピンコート法を用いた MIM ダイオードの作製
〇(M2)石井 翔1、栁澤 圭亮1、赤羽 隆志1、尹 友1 (1.群馬大学)
キーワード：
光レクテナ、スピンコート、MIMダイオード
近年、高変換効率理論値を有する光レクテナが注目されている。また、高周波領域での整流を可能にするためのダイオードとしてトンネル効果による金属-絶縁層-金属(MIM)ダイオードが最適である。しかし従来の絶縁層作製技術では、作製に長い時間と高価な装置が必要となることが多い。スピンコート法は均一な膜を容易に形成することができると実証されている。本研究では、スピンコート法により HydrogenSilsesquixane (HSQ)ナノ絶縁層を形成し評価を行った。