Presentation Information
[17a-K102-3]In-situ observation of precursor droplet dynamics and crystal growth through vapor-liquid-solid growth of monolayer WS2 in substrate-stacked microreactor
〇Yutaro Senda1, Yasuhiko Hayashi1, Hiroo Suzuki1 (1.Okayama Univ.)
Keywords:
2D material,TMDC,In-situ observation
マイクロリアクタでの単層WS2結晶の気相-液相-固相(VLS)成長をその場観測することで成長メカニズム解明に取り組んだ.W原料とSの原料比率の調整により原料液滴の存在に基づく様々な成長形態を観測した.成長速度の解析から,液滴の存在が結晶成長速度と最終的な結晶サイズに大きく影響することを見出した.さらに原料の元素分析や熱分析などの結果と合わせ,液滴の動的ダイナミクスと結晶成長の関係性を明らかにした.
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