講演情報
[17a-K102-3]基板積層マイクロリアクタ内での単層WS2結晶の固相-液相-気相成長における前駆体液滴と結晶成長のその場観測
〇千田 祐太朗1、林 靖彦1、鈴木 弘朗1 (1.岡山大院環)
キーワード：
二次元材料、TMDC、その場観測
マイクロリアクタでの単層WS2結晶の気相-液相-固相（VLS）成長をその場観測することで成長メカニズム解明に取り組んだ．W原料とSの原料比率の調整により原料液滴の存在に基づく様々な成長形態を観測した．成長速度の解析から，液滴の存在が結晶成長速度と最終的な結晶サイズに大きく影響することを見出した．さらに原料の元素分析や熱分析などの結果と合わせ，液滴の動的ダイナミクスと結晶成長の関係性を明らかにした．