[17a-K505-1~9] 23.1 Joint Session N "Informatics"

9:00 AM - 9:15 AM JST(12:00 AM - 12:15 AM UTC)Presentation by Applicant for JSAP Young Scientists Presentation Award

[17a-K505-1] Data assimilation for oxygen precipitates distribution inside Si wafers in cascade process

〇Takuya Kusunoki¹, Junta Abe¹, Yuta Nagai¹, Haruo Sudo¹, Hiroya Iwashiro¹, Rie Takasu¹, Hironori Banba¹, Koji Izunome¹, Susumu Maeda², Shota Seki² (1.GlobalWafers Japan, 2.Aixtal)

Keywords:

Data assimilation,Process Informatics,Bulk Micro Defect

本研究では、従来は単工程のみで行われてきたデータ同化を、製造プロセスが直列多段に連なる「カスケード工程」に適用した。酸素析出物(BMD)の形成・成長・溶解挙動を再現するシミュレータと、IRトモグラフィーで測定したBMD分布を基に、遺伝的アルゴリズムでパラメータを推定した。これにより、各工程を跨いだBMD挙動のシミュレーション精度を向上し、デバイス構造に合わせた欠陥制御・設計に繋げることを目指した。