[17a-K505-1~9] 23.1 Joint Session N "Informatics"

9:30 AM - 9:45 AM JST(12:30 AM - 12:45 AM UTC)

[17a-K505-3] Objective functions considering conventional conditions in optimizing semiconductor annealing process

Ryotaro Kasahara¹, 〇Kentaro Kutsukake^1,2, Shunta Harada¹, Toru Ujihara¹, Shota Seki³, Masaki Takaishi³, Yuta Nagai⁴ (1.Nagoya Univ., 2.RIKEN, 3.Aixtal, 4.GlobalWafers Japan)

Keywords:

Optimization,Machine learning,Semiconductor

プロセスインフォマティクスの普及により、多くの製造条件の最適化にAIが活用されている。この際、量産条件などすでに製造条件が存在する場合には、AIにより既存の製造条件からかけ離れた最適条件が提案されたときに導入が難しくなる。そこで本研究では既存条件を考慮した最適化を行うため、製品性能の評価指標に加えて既存条件との近さの指標を目的関数に導入した最適化を実施し、その効果を検討した。