[17a-K505-1~9] 23.1 合同セッションN「インフォマティクス応用」

9:30 〜 9:45

[17a-K505-3] 半導体熱処理条件の最適化における既存条件を考慮した目的関数の検討

笠原 亮太郎¹、〇沓掛 健太朗^1,2、原田 俊太¹、宇治原 徹¹、関 翔太³、高石 将暉³、永井 勇太⁴ (1.名大、2.理研、3.アイクリスタル、4.グローバルウェーハズ・ジャパン)

キーワード：

最適化、機械学習、半導体

プロセスインフォマティクスの普及により、多くの製造条件の最適化にAIが活用されている。この際、量産条件などすでに製造条件が存在する場合には、AIにより既存の製造条件からかけ離れた最適条件が提案されたときに導入が難しくなる。そこで本研究では既存条件を考慮した最適化を行うため、製品性能の評価指標に加えて既存条件との近さの指標を目的関数に導入した最適化を実施し、その効果を検討した。