[17p-K103-1~9] 13.4 Si processing /Si based thin film / MEMS / Equipment technology

2:15 PM - 2:30 PM JST(5:15 AM - 5:30 AM UTC)

[17p-K103-4] Fabrication of microlens molds by hydrogen annealing using Minimal Fab

〇Kengo Hamada^1,4, Ying Huang³, Noriko Sato³, Takashi Chiba^1,4, Masao Terada^1,4, Kazushige Sato^1,4, Noriko Miura², Shinichi Ikeda², Shiro Hara^1,2, Yoshiaki Kanamori³ (1.MINIMAL, 2.AIST, 3.Tohoku Univ., 4.SAKAGUCHI ELECTRIC HEATERS)

Keywords:

Minimal Fab,Laser Heating,Hydrogen Annealing

我々はミニマルレーザ加熱装置の発展形としてレーザ加熱による表面平滑化を可能とするミニマルレーザ水素アニール装置を平成30 年度サポイン事業により開発した。これまでに、柱状構造を作製し、その立体構造について水素アニールの表面処理効果を確認することができた。今回は、より実践的な柱状構造に対してレーザ水素アニールを実施し、マイクロレンズ鋳型を作成する実験を行った。その結果について報告する。