講演情報
[17p-K103-4]ミニマル装置を用いた水素アニールによるマイクロレンズ鋳型の作製
〇濱田 健吾1,4、Huang Ying3、佐藤 徳子3、千葉 貴史1,4、寺田 昌男1,4、佐藤 和重1,4、三浦 典子2、池田 伸一2、原 史朗1,2、金森 義明3 (1.ミニマルファブ、2.産総研、3.東北大、4.坂口電熱)
キーワード：
ミニマルファブ、レーザ加熱、水素アニール
我々はミニマルレーザ加熱装置の発展形としてレーザ加熱による表面平滑化を可能とするミニマルレーザ水素アニール装置を平成30 年度サポイン事業により開発した。これまでに、柱状構造を作製し、その立体構造について水素アニールの表面処理効果を確認することができた。今回は、より実践的な柱状構造に対してレーザ水素アニールを実施し、マイクロレンズ鋳型を作成する実験を行った。その結果について報告する。