[17p-K503-1~12] 6.6 Probe Microscopy

4:00 PM - 4:15 PM JST(7:00 AM - 7:15 AM UTC)

[17p-K503-11] Parameter determination in parallel plate approximation for tip-sample capacitor

〇Ryota Fukuzawa^1,2, Takuji Takahashi^2,3 (1.NAIST, 2.IIS, 3.NanoQuine)

Keywords:

Atomic force microscopy,Kelvin probe force microscopy,Electric measurements

静電引力顕微鏡 (EFM) などの原子間力顕微鏡 (AFM) における電気計測において、空隙を介したAFM探針-金属試料表面からなる系をどのようなモデルで扱うかが問題になることがある。上記の系を平行平板で近似した際の、最適なパラメータの決定法や、その際の近似の有効性について検証した。