講演情報
[17p-K503-11]探針-金属間容量の平行平板近似に関するパラメータの決定法
〇福澤 亮太1,2、高橋 琢二2,3 (1.奈良先端大、2.東大生研、3.東大ナノ量子機構)
キーワード：
原子間力顕微鏡、ケルビンプローブフォース顕微鏡、電気計測
静電引力顕微鏡 (EFM) などの原子間力顕微鏡 (AFM) における電気計測において、空隙を介したAFM探針-金属試料表面からなる系をどのようなモデルで扱うかが問題になることがある。上記の系を平行平板で近似した際の、最適なパラメータの決定法や、その際の近似の有効性について検証した。